在使用真空泵的过程中，需要注意保持其密封性能良好，以免泄漏气体，影响真空度。
定期检查轴套的磨损情况，磨损较大后应及时更换往复式真空泵属于干式真空泵，别名活塞式真空泵，主要是依靠汽缸内的活塞作往复运动来吸入和排出气体
D60C 、D40C 、D30C、D16C 、D8C、SV25B、SV25 19903、SV16B、DRYVAC DV500 、TRIVAC C系列、D40C 31159、SV300B、SV1200、COOLVAC 5000、DRYVAC DV300、SV300B、D63L 、D90L、RUVAC WSU2001、DV650、SV630B、D4/8/B、SV16B25B40B65B 、SV12300B 、D8C、D16C、D30C、D40C、D60C、SV25B、SV40B、SV65B、SV100B、SV300B、SV65B 、SV750B、SV500、SV630、SV630B、SV40B、SV1200、SV25B 、SV16B 、SV100B、SV200、SV300、SV630B、SV750B、SC15、SV100B、DV650、D25B 、D16B 、D8B、D4B、SV630B(F)、B/BCS系列、D8C、D16C、SC 系列、SC 15D、SC 30D、SV 系列、SV 40、SV 630、RUVAC WA/WS 系列、RUVAC WA 1000、WA 2500、DryTel 系列、DryTel 1025、DryTel 6535、SOGEVAC SV 系列、SOGEVAC SV 300、COAX 系列、COAX 9000、COAX 12000、TurboVAC 系列、MAGiNTEGRA 系列、COOLVAC 系列、COOLVAC 8000、IonIVAC 系列
基础油失效：基础油是添加剂的载体，基础油失效则添加剂就不会发挥作用根据"新型真空设备制造产业" 及替代品的评价体系和量化指标体系，从全新的角度对真空设备制造产业发展进行了推演和预测，在此基础上，对的行政区划和四大都市圈的真空设备制造产业发展进行了的研究真空泵的配件种类丰富，涵盖了从主要构件到辅助设备的多个方面。
以下是真空泵常见的一些主要配件：泵体：真空泵的核心部件，通过压缩和抽气，使气体排出系统。
叶轮：用于加速气体的流动速度，增大抽气速度，提高真空泵的工作效率。
导叶：用于引导气体流动的方向，使气体流动更加顺畅，减少能耗。
泵壳：支撑和保护泵体内的其他部件，提高真空泵的整体稳定性。
泵盘：连接泵体和电机，通过旋转产生动力，驱动真空泵工作。
真空泵的配件种类丰富，涵盖了从主要构件到辅助设备的多个方面。
以下是真空泵常见的一些主要配件：泵体：真空泵的核心部件，通过压缩和抽气，使气体排出系统。
叶轮：用于加速气体的流动速度，增大抽气速度，提高真空泵的工作效率。
导叶：用于引导气体流动的方向，使气体流动更加顺畅，减少能耗。
泵壳：支撑和保护泵体内的其他部件，提高真空泵的整体稳定性。
泵盘：连接泵体和电机，通过旋转产生动力，驱动真空泵工作。
电机温度高某公司的300MW机组，每台机组配备2台机械真空泵，其中1台运行，1台备用
在维修真空泵时，要检查泵的外观是否有损坏或磨损的地方，特别是泵的密封圈和密封垫。
如果发现有损坏，应及时更换，并注意密封件的安装位置和固定方式。
需要检查真空泵的进气口和出气口是否通畅。
如果进气口被杂质堵塞，会导致泵无法正常工作，这时可以使用专用的清洗剂清洗进气口，保持其通畅。
而出气口的堵塞可能是由于沉积物堆积所致，可以拆开泵体进行清洗。
根据罗茨真空泵工作范围的不同，又分为直排大气的低真空罗茨泵;中真空罗茨泵(又称机械增压泵)和高真空多级罗茨泵等。
居中的空间B的容积也是逐渐减小的，正处于压缩过程。
由于空间A的容积是逐渐增大（即膨胀），气体压强降低，泵的入口处外部气体压强大于空间A内的压强，将气体吸入。
当空间A与吸气口隔绝时，即转至空间B的位置，气体开始被压缩，容积逐渐缩小，最后与排气口相通。
当被压缩气体超过排气压强时，排气阀被压缩气体推开，气体穿过油箱内的油层排至大气中。
由泵的连续运转，达到连续抽气的目的。
如果排出的气体通过气道而转入另一级（低真空级），由低真空级抽走，再经低真空级压缩后排至大气中，即组成了双级泵。
这时总的压缩比由两级来负担，提高了极限真空度。
对油路的通孔、油槽、气体通道，应将其内堆积的颗粒杂质、尘埃、污垢、油渣全部清洗干净，结了结石的地方要轻轻铲除
如果间隙过大，会导致泄漏，影响真空度，此时可以根据实际情况调整转子之间的间隙达到适当的范围。
还有一种常见的故障是真空泵的电机不工作或转速不稳定。
这可能是由于电路故障或电机内部零部件损坏所导致。
在维修时，需要仔细检查电路连接是否松动或短路，如果电路正常，就需要拆开电机进行检修和更换损坏的零部件。