别的，冷凝器的冷凝功率也是十分要害的，冷凝器的冷凝作用差，会使蒸汽因来不及冷凝而直接进入下一级泵，加大后级泵的负荷，影响泵的抽气才能
例如，前后级的气体通路是在中隔板顶部铣一半圆槽，上面垫橡皮板，由油箱压紧，当橡皮板太厚、油箱压得太紧或橡皮被油泡久发胀等而使气道半圆槽被堵死时，就会使泵开不动或开一会儿便卡死
D60C 、D40C 、D30C、D16C 、D8C、SV25B、SV25 19903、SV16B、DRYVAC DV500 、TRIVAC C系列、D40C 31159、SV300B、SV1200、COOLVAC 5000、DRYVAC DV300、SV300B、D63L 、D90L、RUVAC WSU2001、DV650、SV630B、D4/8/B、SV16B25B40B65B 、SV12300B 、D8C、D16C、D30C、D40C、D60C、SV25B、SV40B、SV65B、SV100B、SV300B、SV65B 、SV750B、SV500、SV630、SV630B、SV40B、SV1200、SV25B 、SV16B 、SV100B、SV200、SV300、SV630B、SV750B、SC15、SV100B、DV650、D25B 、D16B 、D8B、D4B、SV630B(F)、B/BCS系列、D8C、D16C、SC 系列、SC 15D、SC 30D、SV 系列、SV 40、SV 630、RUVAC WA/WS 系列、RUVAC WA 1000、WA 2500、DryTel 系列、DryTel 1025、DryTel 6535、SOGEVAC SV 系列、SOGEVAC SV 300、COAX 系列、COAX 9000、COAX 12000、TurboVAC 系列、MAGiNTEGRA 系列、COOLVAC 系列、COOLVAC 8000、IonIVAC 系列
也是因为真空泵油形成的真空度低的状况，就是真空泵油乳化变色，或许过脏
机械密封装配不当更换端机封时，拆卸过程中发现动环上的密封O型圈没有安装好以真空泵运转时，油位到油标中心为准;真空泵中若是油使用时间超过一定期限以后，需换油;真空泵在寒冬季节使用时，停车后，需将泵体下部放水螺塞拧开将介质放净，防止冻裂;开动电机，当真空泵正常运转后，打开出口压力表和进口真空泵，视其显示出适当压力后，逐渐打开闸阀，检查电机负荷情况;真空泵要停止使用时，先关闭闸阀、压力表，停止电机;定期检查真空泵各零部件，若发现损坏及时更换。
电化学清洗真空泵维修将待清洗的金属零件放在某种溶液中，并将零件接在电源的正极或负极，再用某一材料制作成的极板接电源的另一极，调节电源电压，获得一定电流密度，达到去油和去除金属表面氧化层的目的。电解去油的效率比化学去油高好几倍，如果用碱液作为电解液，可用交流或直流作为电源，但交流的电解去油速率不如直流快。电解去油的原理是：电解时在电极上产生剧烈的气泡(在阴极上产生，阳极上产生氧气)，零件上附着的油脂薄层因受机械力的冲击而破坏，油脂和碱液起皂化和乳化作用，加速了去油过程。电解用的电源电压通常为2～12V，极间距离为5～15cm 。真空包装机能够自动抽出包装袋内的空气，达到预定真空度后完成封口工序
在维修真空泵时，要检查泵的外观是否有损坏或磨损的地方，特别是泵的密封圈和密封垫。如果发现有损坏，应及时更换，并注意密封件的安装位置和固定方式。
需要检查真空泵的进气口和出气口是否通畅。如果进气口被杂质堵塞，会导致泵无法正常工作，这时可以使用专用的清洗剂清洗进气口，保持其通畅。而出气口的堵塞可能是由于沉积物堆积所致，可以拆开泵体进行清洗。
此情况下应及时替换阀片。轴端密封失效：当轴端密封盘根损坏或密封水孔道被阻塞后，会形成空气从这些损坏的缝隙中被吸入到泵体内，会形成泵的吸气及排气性能。若只要一侧密封失效时，会形成叶轮两边压力不平衡，转子发生轴向力，使轴承负载加剧，从而使轴承温度增加。轴承预紧力过大：这种情况会导致爱德华真空泵轴承游隙削减或无游隙，形成轴承升温。轰动影响：当泵体或轴承轰动较大时都会发生轴承温度过高的表象，查看泵体找出轰动缘由，消除轰动，则轴承温度康复。光滑表象：光滑脂增加量过大过小，或光滑脂类型不符合，其使用时间过长或许光滑脂被污染都会形成轴承发热。充入气体的压力还要考虑被检件的机械强度
还有一种常见的故障是真空泵的电机不工作或转速不稳定。这可能是由于电路故障或电机内部零部件损坏所导致。在维修时，需要仔细检查电路连接是否松动或短路，如果电路正常，就需要拆开电机进行检修和更换损坏的零部件。