泵转子、旋片端面与端盖间的间隙过小,摩擦发热使旋片伸长或过热过紧的摩擦加之旋片硬度过大,与毛刺互相碾括,使端面产生深划痕,最后烧结卡死真空泵长期停用,需将泵全部拆开,擦干水分,将转动部位及结合处涂以油脂装好,妥善保管

D60C 、D40C 、D30C、D16C 、D8C、SV25B、SV25 19903、SV16B、DRYVAC DV500 、TRIVAC C系列、D40C 31159、SV300B、SV1200、COOLVAC 5000、DRYVAC DV300、SV300B、D63L 、D90L、RUVAC WSU2001、DV650、SV630B、D4/8/B、SV16B25B40B65B 、SV12300B 、D8C、D16C、D30C、D40C、D60C、SV25B、SV40B、SV65B、SV100B、SV300B、SV65B 、SV750B、SV500、SV630、SV630B、SV40B、SV1200、SV25B 、SV16B 、SV100B、SV200、SV300、SV630B、SV750B、SC15、SV100B、DV650、D25B 、D16B 、D8B、D4B、SV630B(F)、B/BCS系列、D8C、D16C、SC 系列、SC 15D、SC 30D、SV 系列、SV 40、SV 630、RUVAC WA/WS 系列、RUVAC WA 1000、WA 2500、DryTel 系列、DryTel 1025、DryTel 6535、SOGEVAC SV 系列、SOGEVAC SV 300、COAX 系列、COAX 9000、COAX 12000、TurboVAC 系列、MAGiNTEGRA 系列、COOLVAC 系列、COOLVAC 8000、IonIVAC 系列

真空泵使用久了里面就会有污垢,污垢堆积多了会影响真空泵的工作效率,需要定期定期真空泵的污垢,保证其正常的工作运行
真空泵的传动部位磨损是普遍存在的问题,其中包括轴承位、轴承座、轴承室、键槽及螺纹等部位,传统真空泵维修方法以补焊和刷镀喷涂为主,但两者均存在一定弊端:补焊高温产生的热应力无法完全消除,易造成材质损伤,导致部件出现弯曲或断裂;而电刷镀受涂层厚度限制,容易剥落,且以上两种方法都是用金属修复金属,无法改变“硬对硬”的配合关系,在各力综合作用下,仍会造成磨损超声波清洗超声波清洗的原理是利用它所造成介质的“空隙现象”,即超声波的振动引起清洗介质疏密变化而达到清洗目的。振动使介质时而稀疏,时而闭合,稀疏时形成瞬时的空隙;闭合时产生瞬时冲击力可达到几个大气压,这个强大的冲击能破坏物体表面的油膜,使之和污染物一起脱离物体表面被冲落到溶液中。超声波清洗可以去掉零件上孔内部的污染物,这是一般清洗方法所无法实现的,超声波清洗的溶液可以用水和其它溶剂,若用三氯会有更好的去油效果,常用工作频率为4~10MHz。
酸、碱浸蚀处理去油后进行浸蚀处理,目的是去除金属表面的氧化物,经过热处理的零件,油污已不存在,可直接进行浸蚀处理,以去除退火后的氧化层。浸蚀处理一般在酸性溶液中进行,大多数金属的氧化物以及金属本身都能与适当浓度的酸溶液起化学反应,氧化物与酸反应生成盐和水,金属与酸作用生成盐和,的一部分被金属表面吸附后,会使某些金属变脆,为了避免金属变脆和过度腐蚀,可在浸蚀液中加入缓蚀剂,并适当控制浸蚀溶液的的浓度及温度。向轴承体内加入轴承润滑机油,观察油位应在油标的中心线处,润滑油应及时更换或补充

在维修真空泵时,要检查泵的外观是否有损坏或磨损的地方,特别是泵的密封圈和密封垫。如果发现有损坏,应及时更换,并注意密封件的安装位置和固定方式。
需要检查真空泵的进气口和出气口是否通畅。如果进气口被杂质堵塞,会导致泵无法正常工作,这时可以使用专用的清洗剂清洗进气口,保持其通畅。而出气口的堵塞可能是由于沉积物堆积所致,可以拆开泵体进行清洗。

居中的空间B的容积也是逐渐减小的,正处于压缩过程。由于空间A的容积是逐渐增大(即膨胀),气体压强降低,泵的入口处外部气体压强大于空间A内的压强,将气体吸入。当空间A与吸气口隔绝时,即转至空间B的位置,气体开始被压缩,容积逐渐缩小,最后与排气口相通。当被压缩气体超过排气压强时,排气阀被压缩气体推开,气体穿过油箱内的油层排至大气中。由泵的连续运转,达到连续抽气的目的。如果排出的气体通过气道而转入另一级(低真空级),由低真空级抽走,再经低真空级压缩后排至大气中,即组成了双级泵。这时总的压缩比由两级来负担,提高了极限真空度。
真空泵维修过程中,零部件的精度及其质量对泵浦维修后的性能尤为重要

还有一种常见的故障是真空泵的电机不工作或转速不稳定。这可能是由于电路故障或电机内部零部件损坏所导致。在维修时,需要仔细检查电路连接是否松动或短路,如果电路正常,就需要拆开电机进行检修和更换损坏的零部件。