真空泵是实验室、工业生产等领域常用的设备，用于制造低压真空环境。在使用过程中，真空泵可能会出现各种故障，导致设备不能正常工作。下面就介绍一些常见的真空泵维修故障及解决方案。
(1)如果油位过低且排气噪音大，可以添加干净的真空泵油。
(2)真空泵油被可冷凝蒸汽污染，可被净化或用新油替代。
(3)真空泵口外接管道、容器、测试仪器管道、接头等漏气处。当有大的泄漏时，会有很大的排气声，排气口会排气。泄漏的部分应该被发现并消除。
(4)如果进气喷嘴或空气镇流阀的橡胶密封图装配不当、损坏或老化，应进行调整或更换。
(5)如果进油嘴的油孔堵塞，可以拔出进油嘴疏通油孔。
(6)真空系统污染严重，包括容器、管道等。应该清洗。
(7)螺旋弹簧断裂，应更换。
(8)如果转子、泵体或泵盖磨损且间隙过大，检查、修整或更换。
(9)如果泵温度过高，应改善通风和冷却。如果泵送气体的温度过高，则应在泵送进入之前冷却。
清洁与润滑：在拆卸和维修过程中，保持泵件的清洁，并根据需要进行润滑真空泵维修检漏过程中发现漏孔要及时标记，并复查确认进行焊补，如果采用作为示漏气体，要特别注意安全在排除电路部分的故障后，应考虑以下两个因素：电机烧坏：主要为电机定子线圈烧毁，引起原因较多，如瞬间电流过大，电机轴承使用久了被磨损，致使轴承摩擦阻力变大，电机功率加大，引起温度上升，烧毁电机。这时真空泵维修应先检查电机轴承，再检查电机线圈。轴承损坏就更换轴承;电机线圈烧毁则应维修电机，重新绕制定子线圈。轴承和线圈损坏严重时，就需更换电机了。旋片卡阻：主要表现为旋片与泵腔内表面的摩擦阻力过大，致使电机无法带动旋片。原因是旋片变形，转子内的弹簧张开后不能复位，或弹簧压力和旋片自身离心力的合力过大，导致旋片与泵腔内表面的摩擦阻力过大。
真空泵内部的积尘、沉积物等会影响其正常工作。定期清洗和检查真空泵内部可以有效预防由于内部污染导致的故障。
清洗和检查真空泵内部需要先拆卸真空泵的各个部件，清除积尘、沉积物等。清洗时需要选择适当的清洗液，不能使用腐蚀性强的清洗液，避免对真空泵内部材料产生腐蚀。
在清洗和检查完毕后，需要对真空泵进行组装，组装时需要按照说明书或者厂家的建议进行操作，确保组装正确。
应打开气镇，让泵运行30分钟左右，来抽干非泵油污染引起的可压缩蒸汽，排除可压缩蒸汽对极限真空度的影响。在排除以上两个因素后，其他原因主要有：泵油污染，需要换油;泵内油过滤器堵塞，引起压缩注油系统油路不畅，供油不足，导致泵体密封不严，这时需要清洗内部油过滤器;配油器阀门变形、磨损或损坏也可导致供油不足，这时应检查更换配油器阀门;长时间使用引起真空泵的旋片磨损或转子内的弹簧张力不足，导致吸气室和排气室隔离不严，从而引起真空泵的抽真空性能下降，这时应当更换旋片和弹簧，并清洗转子和泵腔;检查排气阀门，观看其动作是否失灵，导致排气不畅，必要时应更换排气阀门。莱宝真空泵传动部位磨损是常见问题，包括轴承位、轴承座、轴承室、键槽及螺纹等部位磨损。传统维修方法以补焊和刷镀喷涂为主，但两者均存在一定弊端。补焊高温产生的热应力无法完全消除，易造成材质损伤，导致部件出现弯曲或断裂;而电刷镀受涂层厚度限制，容易剥落。且以上两种方法都是用金属修复金属，无法改变“硬对硬”的配合关系，在各力综合作用下，仍会造成磨损。莱宝真空泵传动部位磨损的维修方法：当代西方国家多采用高分子复合材料修复法，应用较多的是美国美嘉华技术体系，具有粘着力强、抗压强度大等性能。
国内真空包装机械产品的出口贸易额，也在连年增加断续启动电动机，清洗各真空室真空泵维修需要拧下真空泵泵体的引水螺塞，灌注引水(或引浆)